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ERTA200 高精度氣浮旋轉(zhuǎn)平臺
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產(chǎn)品編號
所屬分類
氣浮轉(zhuǎn)臺
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產(chǎn)品描述
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ERTA200 高精度氣浮旋轉(zhuǎn)平臺
ERTA系列旋轉(zhuǎn)臺采用開式氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計，獨有超薄直驅(qū)電機驅(qū)動，大口徑圓光柵反饋系統(tǒng)，實現(xiàn)超薄、超高分辨率運動控制。
特點
• 超薄 • 分辨率高 • 水平使用
典型應(yīng)用
• ERTA系列氣浮轉(zhuǎn)臺非常適用于高精度應(yīng)用，精密掃描以及半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的應(yīng)用。由于運動無摩擦，不會形成顆粒，ERTA系列氣浮轉(zhuǎn)臺非常適用于無塵室應(yīng)用。
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